WAFER THROUGH HOLE PRINTING METAL MASK

To provide a wafer through hole printing metal mask capable of reducing the damage of a squeegee and preventing the periphery of an opening of the metal mask from rolling up.SOLUTION: A wafer through hole printing metal mask for printing a conductive paste 6 in a through hole of a wafer 1 includes: a wafer through hole printing metal mask formed in a square frame shape; and a circular opening 3 formed in a central part of the wafer through hole printing metal mask and having a size slightly smaller than a size of the wafer and having a size including all through holes formed in the wafer in the inside. A peripheral upper surface of the circular opening is formed in an R shape 8 having a roundness descending downward toward the inside from the outside or a tapered shape, and a recessed part (a step) 8 is formed toward the outside from a position right under a region used as an origin in the R shape having a roundness on the peripheral upper surface of the circular opening or the tapered shape on a lower surface side of the wafer through hole printing metal mask.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】スキージのダメージを軽減し、メタルマスクの開口部周縁の捲り上がりを防止できるウエハースルーホール印刷用メタルマスクを得る。【解決手段】ウエハー１のスルーホールに導電性ペースト６を印刷するためのものであって、四角枠状に形成されたウエハースルーホール印刷用メタルマスクと、ウエハースルーホール印刷用メタルマスクの中央部に形成され、ウエハーサイズよりも若干小さくウエハーに形成されたスルーホールの全てをその内側に包含する大きさを有する円形状開口部３と、を備え、円形状開口部の周縁上面を、外側から内側に向かって下向きに下がる丸みを持ったＲ形状８又はテーパー形状に形成し、ウエハースルーホール印刷用メタルマスクの下面側であって、円形状開口部の周縁上面の丸みを持ったＲ形状又はテーパー形状の起点となる部位の直下位置から外側に向かって凹部（段差）８を形成する。【選択図】図３