INSPECTION DEVICE

To provide a technology that enables efficient inspection.SOLUTION: An inspection device includes a load port area where a carrier accommodating chamber for accommodating a carrier to be inspected is arranged, an inspection area where a plurality of probe cards are respectively arranged under a plurality of inspection units, and the probe card is pressed against an electronic device of an object to be inspected on the chuck top to inspect the electronic device, a transport area arranged between the load port area and the inspection area in a plan view, and in which a transport mechanism transports the object to be inspected onto the chuck top, and a plurality of probe card accommodating portions arranged in the load port area and/or the inspection area, capable of accommodating the probe cards, and the plurality of probe card accommodating portions are equal to or more than the number of the plurality of probe cards.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】効率的に検査を行うことができる技術を提供する。【解決手段】被検査体を収納するキャリアを収容するキャリア収容室が配置されるロードポート領域と、複数の検査部の下に複数のプローブカードがそれぞれ配置され、チャックトップ上の被検査体の電子デバイスに前記プローブカードを押圧して前記電子デバイスの検査が行われる検査領域と、平面視で前記ロードポート領域と前記検査領域との間に配置され、搬送機構が前記被検査体を前記チャックトップ上に搬送する搬送領域と、前記ロードポート領域、及び／又は、前記検査領域に配置され、各々が前記プローブカードを収容可能な複数のプローブカード収容部であって、前記複数のプローブカードの数以上の複数のプローブカード収容部とを含む、検査装置が提供される。【選択図】図３