HOLDING TABLE MECHANISM AND PROCESSING DEVICE

To prevent the alignment, calf check, and the like from not being accurately performed.SOLUTION: A holding table mechanism 12 includes: an annular base 13 with an opening 131 in the center; and a detachable table 14 that includes a holding portion 141 made of a transparent member and holding a workpiece, and a frame 142 surrounding the holding portion 141, and is detachably arranged on the annular base 13. The workpiece held by the holding portion 141 is imaged through the holding portion 141 through the opening 131 by an imaging camera. The annular base 13 includes a protective plate 132 made of a transparent member covering the opening 131. The holding table mechanism 12 includes a suction groove 144 that opens to the holding surface 143 and a suction path 146 having one end communicating with the suction groove 144 and the other end connected to a suction source 145.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】アライメントやカーフチェック等が正確に行えなくことを抑制することができること。【解決手段】保持テーブル機構１２は、開口１３１を中央に有した環状ベース１３と、透明部材からなりワークを保持する保持部１４１と、保持部１４１を囲繞する枠体１４２と、を有し、環状ベース１３に着脱自在に配設される着脱テーブル１４と、を備え、保持部１４１で保持されたワークは、撮像カメラで開口１３１を通じて保持部１４１を介して撮像される。環状ベース１３は、開口１３１を覆う透明部材からなる保護プレート１３２を有する。保持テーブル機構１２は、保持面１４３に開口する吸引溝１４４と、一端が吸引溝１４４に連通するとともに他端が吸引源１４５に接続された吸引路１４６と、が保持部に形成されている。【選択図】図３