LOAD LOCK DEVICE

To provide a load lock device that is advantageous for reducing rise of particles into a space above a substrate from a pump.SOLUTION: A load lock device 100 comprises: a load lock chamber 110 that has a first conveyance port 111 connected with a transfer chamber 20 to be connected to a decompression processing device 10, and a second conveyance port 112 connected with a loader chamber 30; a substrate holder 120 that holds a substrate S in the load lock chamber; a drive mechanism 130 that is arranged below the load lock chamber to lift and lower the substrate holder and coupled to the substrate holder with a coupling member 122; an extended chamber 140 that is extended laterally from a lower part of the load lock chamber; and a pump 150 that is arranged below the extended chamber and exhausts a gas in the load lock chamber through the extended chamber. The extended chamber has a bottom face having an opening 142 at a position shifted from a vertically lower part of the substrate holder, and the pump is connected with the opening.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ポンプからの基板の上方の空間へのパーティクルの舞い上がりを低減するために有利なロードロック装置を提供する。【解決手段】ロードロック装置１００は、減圧処理装置１０と接続されるトランスファー室２０と接続する第１搬送口１１１及びローダー室３０と接続する第２搬送口１１２を有するロードロック室１１０と、ロードロック室の中で基板Ｓを保持する基板ホルダ１２０と、基板ホルダを昇降させるようにロードロック室の下方に配置され、連結部材１２２を介して基板ホルダに連結された駆動機構１３０と、ロードロック室の下部から側方に延長された延長室１４０と、延長室の下方に配置され、延長室を介してロードロック室のガスを排出するポンプ１５０と、を備える。延長室は、基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口１４２を有する底面を有し、開口にポンプが接続されている。【選択図】図１