SYNTHETIC DIAMOND OPTICAL ELEMENT

To provide a synthetic diamond optical element having an antireflective surface pattern formed directly on a surface thereof and having a low absorbance and a low refractive index.SOLUTION: The optical element has a synthetic diamond material and an optical surface pattern formed directly in at least one surface of the synthetic diamond material. The optical surface pattern includes a plurality of projections separated from one another by trenches, where the projections are spaced apart with a periodicity d, the periodicity is 65% to 99% of a zero-th order diffraction limit, and nonzero-th diffraction orders are observed at an operating wavelength λ above the zero-th order diffraction limit. The optical surface pattern has a fill fraction in the range from 0.1 to 0.6, where the fill fraction is defined by [a projection area in one periodic unit]/[an area of the periodic unit]. The optical element has an absorption coefficient of 0.2 cm-1 or less at a wavelength of 10.6 μm measured at room temperature.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】表面上に直接形成された反射防止表面パターンを有すると共に低吸光度及び低屈折率を有する合成ダイヤモンド光学素子を提供する。【解決手段】光学素子であって、合成ダイヤモンド材料と、合成ダイヤモンド材料の少なくとも１つの表面内に直接形成された光学表面パターンとを有し、光学表面パターンは、トレンチによって互いに隔てられた複数の突出部を含み、突出部は、周期数ｄで互いに間隔を置いて配置され、周期数は、０次回折次数限界の６５〜９９％であり、非０次回折次数は、０次回折次数限界よりも上において動作波長λで観察され、光学表面パターンは、０．１から０．６までの範囲にあるフィルフラクションを有し、フィルフラクションは、［一周期ユニット中の突出部面積］／［周期ユニットの面積］として定義され、光学素子は、室温で測定して１０．６μｍの波長で≦０．２ｃｍ-1の吸収係数を有することを特徴とする光学素子。【選択図】図２