PRODUCT WITH AT LEAST ONE PLASMA LAMP

To provide a technique for generating a uniform glow discharge and stabilizing a plasma lamp.SOLUTION: A plasma lamp 1 includes almost parallel inner plates 5, an array of microcavities 30 is formed on the surface of at least one inner plate 5, the inner plates 5 are separated by a spacer 10a at a fixed distance, and at least one spacer 10a is placed near the edge of the inner plate 5 to form airtight seal together with the inner plate 5, and gas contacts the microcavity 30. A time-varying voltage is supplied to at least one electrode 7 located on the outer surface of the inner plate 5 to form a glow discharge plasma in the volume between the microcavity 30 and the inner plate 5 to efficiently and uniformly emit UV/VUV radiation over the entire surface of the plasma lamp 1.SELECTED DRAWING: Figure 1B 【課題】均一なグロー放電を生成し、プラズマランプを安定化させる技術を提供する。【解決手段】プラズマランプ１は、ほぼ平行な内部板５を含み、少なくとも１つの内部板５の表面内にマイクロキャビティ３０のアレイが形成され、内部板５はスペーサ１０ａによって固定距離に分離され、少なくとも１つのスペーサ１０ａは内部板５の縁近くに配置され、内部板５と共に気密封止を形成し、ガスがマイクロキャビティ３０と接触する。時間変化する電圧が、内部板５の外表面に配置された、少なくとも一つの電極７に供給され、マイクロキャビティ３０と内部板５の間の体積内にグロー放電プラズマを形成し、プラズマランプ１の全表面にわたり、効率的且つ均一にＵＶ／ＶＵＶ放射を発する。【選択図】図１Ｂ