ANTISTATIC ADHESIVE TAPE

To provide an antistatic adhesive tape having excellent conductivity, heat resistance, solvent resistance and chemical resistance.SOLUTION: An antistatic adhesive tape 10 for semiconductor production equipment includes a resin layer 11 containing polyether ether ketone, and an antistatic adhesive la...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ASO TSUTOMU, YANAGISAWA JUNJI, SUDA NOBUMITSU, SHIMADA NOBUYUKI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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