HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY SYSTEM

To provide a technique of suppressing an increase in reflection wave power (synonymous with a reflection coefficient ) due to IMD.SOLUTION: A high-frequency power supply system according to the present disclosure, which provides a high-frequency power to a load connected, comprises: a bias power supply that outputs a bias power at a first frequency; a source power supply that outputs a source power at a second frequency higher than the first frequency; and a matching unit that acquires the bias power and the source power, and includes an impedance matching circuit that establishes matching between an impedance on a source power supply side and an impedance on a load side. The source power supply determines a delay set value indicative of a timing of start of frequency variation processing of the source power, performs the frequency variation processing using the delay set value and a value of the first frequency, and outputs the source power after the frequency variation processing to the matching unit.SELECTED DRAWING: Figure 11 【課題】ＩＭＤによる反射波電力（反射係数と同義）の増加を抑える技術を提案する。【解決手段】本開示は、接続される負荷に対して高周波電力を提供する、高周波電源システムであって、第１周波数でバイアス電力を出力するバイアス電源と、第１周波数よりも高い第２周波数でソース電力を出力するソース電源と、バイアス電力とソース電力とを取得し、ソース電源側のインピーダンスと負荷側のインピーダンスとの整合を取るインピーダンス整合回路を含む整合器と、を備え、ソース電源は、ソース電力に対する周波数変動処理の開始のタイミングを示す遅延設定値を決定し、当該遅延設定値と第１周波数の値とを用いて周波数変動処理を実行し、周波数変動されたソース電力を整合器に出力する、高周波電源システムを提案する。【選択図】図１１