ASSEMBLY METHOD FOR PROBER AND TEACHING JIG

To provide an assembly method for a prober which can be easily assembled with securing accuracy in adjusting a delivery position, and a teaching jig.SOLUTION: An assembly method for a prober includes the steps of: in a prober (10) comprising a measurement unit (12) and a loader part (14), docking both of them, adjusting mutual positions, then separating teaching jigs (100 and 200) and attaching them to the measurement unit and the loader part; assembling the teaching jigs and teaching positions of the measurement unit and the loader part in a longitudinal direction and a lateral direction; separating the measurement unit and the loader part by separating the teaching jigs which finish the teaching; docking the separated measurement unit and loader part in the other location; and positioning the measurement unit and the loader part in the longitudinal direction and the lateral direction by assembling the teaching jigs.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 受け渡し位置の調整の精度を確保しつつ容易に組み立てることが可能なプローバの組立方法及びティーチング治具を提供する。【解決手段】 プローバの組立方法は、測定ユニット（１２）とローダ部（１４）とを備えるプローバ（１０）において、両者をドッキングして相互の位置の調整を行った後に、ティーチング治具（１００、２００）を分離して測定ユニット及びローダ部にそれぞれ取り付けるステップと、ティーチング治具を組み立てて、測定ユニットとローダ部の前後方向及び左右方向の位置のティーチングを行うステップと、ティーチング済みのティーチング治具を分離することにより、測定ユニットとローダ部とを分離する分離ステップと、別の場所において、分離した測定ユニットとローダ部とをドッキングするステップと、ティーチング治具を組み立てることにより、測定ユニットとローダ部の前後方向及び左右方向の位置決めを行うステップとを含む。【選択図】 図１