ELECTRON MICROSCOPE STAGE

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To provide a positioning system and a method for accurately holding a workpiece within a charged particle beam system.SOLUTION: An electron microscope positioning system 110 includes a first carriage with a holder for holding a workpiece W, and a second carriage. The first carriage is coupled to one...

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1. Verfasser: ALBERT VISSCHER
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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creator ALBERT VISSCHER
description To provide a positioning system and a method for accurately holding a workpiece within a charged particle beam system.SOLUTION: An electron microscope positioning system 110 includes a first carriage with a holder for holding a workpiece W, and a second carriage. The first carriage is coupled to one or more first drive units configured such that the workpiece W is positioned along first, second, and third axes, and along the first tilt axis. The second carriage accommodates one or more first drive units and is coupled to one or more second drive units configured such that the workpiece W is positioned along a second tilt axis.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ワークピースを荷電粒子ビームシステム内に、正確に保持するためのポジショニングシステムと方法を提供する。【解決手段】電子顕微鏡用ポジショニングシステム１１０は、ワークピースＷを保持するためのホルダを備える第１のキャリッジと、第２のキャリッジとを含む。第１のキャリッジは、ワークピースＷを、第１、第２、および第３の軸に沿って、ならびに第１の傾斜軸に沿ってポジショニングするように構成された１つ以上の第１の駆動ユニットに結合されている。第２のキャリッジは、１つ以上の第１の駆動ユニットを収容し、ワークピースＷを第２の傾斜軸に沿ってポジショニングするように構成された１つ以上の第２の駆動ユニットに結合されている。【選択図】図１
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The first carriage is coupled to one or more first drive units configured such that the workpiece W is positioned along first, second, and third axes, and along the first tilt axis. The second carriage accommodates one or more first drive units and is coupled to one or more second drive units configured such that the workpiece W is positioned along a second tilt axis.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ワークピースを荷電粒子ビームシステム内に、正確に保持するためのポジショニングシステムと方法を提供する。【解決手段】電子顕微鏡用ポジショニングシステム１１０は、ワークピースＷを保持するためのホルダを備える第１のキャリッジと、第２のキャリッジとを含む。第１のキャリッジは、ワークピースＷを、第１、第２、および第３の軸に沿って、ならびに第１の傾斜軸に沿ってポジショニングするように構成された１つ以上の第１の駆動ユニットに結合されている。第２のキャリッジは、１つ以上の第１の駆動ユニットを収容し、ワークピースＷを第２の傾斜軸に沿ってポジショニングするように構成された１つ以上の第２の駆動ユニットに結合されている。【選択図】図１</description><language>eng ; jpn</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ; ELECTRICITY</subject><creationdate>2021</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20210527&amp;DB=EPODOC&amp;CC=JP&amp;NR=2021082586A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20210527&amp;DB=EPODOC&amp;CC=JP&amp;NR=2021082586A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>ALBERT VISSCHER</creatorcontrib><title>ELECTRON MICROSCOPE STAGE</title><description>To provide a positioning system and a method for accurately holding a workpiece within a charged particle beam system.SOLUTION: An electron microscope positioning system 110 includes a first carriage with a holder for holding a workpiece W, and a second carriage. 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The second carriage accommodates one or more first drive units and is coupled to one or more second drive units configured such that the workpiece W is positioned along a second tilt axis.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ワークピースを荷電粒子ビームシステム内に、正確に保持するためのポジショニングシステムと方法を提供する。【解決手段】電子顕微鏡用ポジショニングシステム１１０は、ワークピースＷを保持するためのホルダを備える第１のキャリッジと、第２のキャリッジとを含む。第１のキャリッジは、ワークピースＷを、第１、第２、および第３の軸に沿って、ならびに第１の傾斜軸に沿ってポジショニングするように構成された１つ以上の第１の駆動ユニットに結合されている。第２のキャリッジは、１つ以上の第１の駆動ユニットを収容し、ワークピースＷを第２の傾斜軸に沿ってポジショニングするように構成された１つ以上の第２の駆動ユニットに結合されている。【選択図】図１</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</subject><subject>ELECTRICITY</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2021</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZJB09XF1Dgny91Pw9XQO8g929g9wVQgOcXR35WFgTUvMKU7lhdLcDEpuriHOHrqpBfnxqcUFicmpeakl8V4BRgZGhgYWRqYWZo7GRCkCAFedIHw</recordid><startdate>20210527</startdate><enddate>20210527</enddate><creator>ALBERT VISSCHER</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20210527</creationdate><title>ELECTRON MICROSCOPE STAGE</title><author>ALBERT VISSCHER</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_JP2021082586A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; jpn</language><creationdate>2021</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</topic><topic>ELECTRICITY</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>ALBERT VISSCHER</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>ALBERT VISSCHER</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>ELECTRON MICROSCOPE STAGE</title><date>2021-05-27</date><risdate>2021</risdate><abstract>To provide a positioning system and a method for accurately holding a workpiece within a charged particle beam system.SOLUTION: An electron microscope positioning system 110 includes a first carriage with a holder for holding a workpiece W, and a second carriage. 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