PIRANI VACUUM GAGE

To provide a Pirani vacuum gage capable of accurately measuring gas pressure even before temperature of a cylindrical body and an envelope is stabilized at predetermined temperature without increasing the number of components.SOLUTION: A Pirani vacuum gage PG includes: a cylindrical envelope 1 which can be mounted on a measurement object; a linear or helical filament 5 which is arranged inside the envelope; a cylindrical body 6 which surrounds the periphery of the filament and where both ends are opened in the longitudinal direction of the filament; a temperature sensor 7 which measures temperature T0 of the cylindrical body; and a control unit Cu which controls electric supply to the filament and also indicates gas pressure based on a resistance change with a temperature change of the filament. The control unit estimates temperature T1 of the envelope from supplied power to the filament and temperature of the cylindrical body measured by the temperature sensor, and corrects an indication value of gas pressure to be detected from a resistance change based on the estimated temperature.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】部品点数を増加させることなく、筒体及びエンベロップの温度が所定温度に安定する前でも精度よく気体圧力を測定することができるピラニ真空計を提供する。【解決手段】本発明のピラニ真空計ＰＧは、測定対象物に装着可能な筒状のエンベロップ１と、エンベロップ内に設けられる線状または螺旋状のフィラメント５と、フィラメントの周囲を囲う、フィラメントの長手方向両端が開口された筒体６と、筒体の温度Ｔ０を測定する温度センサ７と、フィラメントに対する給電を制御すると共に、フィラメントの温度変化に伴う抵抗変化に基づいて気体圧力を指示する制御ユニットＣｕとを備え、制御ユニットが、フィラメントに対する給電電力と温度センサで測定した筒体の温度とからエンベロップの温度Ｔ１を推測し、この推測した温度を基に、抵抗変化から検出される気体圧力の指示値を補正する。【選択図】図１