IMPRINT MOLD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

To provide an imprint mold and a manufacturing method thereof that can improve the productivity of a product to be processed by ensuring the releasability of a transferred resin pattern and a mold, ensuring traceability means of the mold, and improving the handleability.SOLUTION: An imprint mold having a concavo-convex structure on one side with respect to a base material, and includes, in a plan view, a mold pattern region composed of the concavo-convex structure, a water-repellent region including the mold pattern region, and a non-repellent region other than the water-repellent region, and preferably, the water-repellent region has a substantially quadrangular shape in a plan view, and includes the non-water-repellent region outside the water-repellent region and on at least two opposite sides of the quadrangle.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】転写された樹脂パターンとモールドとの離型性を確保し、モールドのトレーサビリティ手段を確保するとともに、ハンドリング性を高めることによって、被加工製品の生産性を向上できるインプリント用モールド及びその製造方法を提供する。【解決手段】基材に対する片面側に凹凸構造を設けたインプリント用モールドであって、平面視で、前記凹凸構造からなるモールドパターン領域と、前記モールドパターン領域を含む撥水領域と、前記撥水領域以外の非撥水領域と、からなるインプリント用モールドとし、好ましくは、前記撥水領域は平面視で略四角形状であり、前記撥水領域外の、前記四角形状の少なくとも対向する２辺側に前記非撥水領域を備えるインプリント用モールドとする。【選択図】図１