MICRO VALVE

To improve sealability in mixing-in of foreign matters in a micro valve having a laminated structure.SOLUTION: A micro valve 10 has a laminated structure, and includes a base layer 20 and a diaphragm layer 30. The base layer has an inflow port 23 for introducing a gas into the micro valve, and an outflow port for allowing the gas to flow out to the external. The diaphragm layer is disposed in opposition to the base layer. The diaphragm layer switches circulation and blockage of the gas from the inflow port to the outflow port by elastically deforming. The diaphragm layer has a structure in which a plurality of deformation regions 33 capable of elastically deforming in accompany with inflow of a pneumatic fluid into the micro valve, and a plurality of rigid regions 34, are alternately formed. The diaphragm layer closes at least one of the inflow port and the outflow port by elastic deformation of at least a part of the plurality of deformation regions.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】積層構造のマイクロバルブにおいて、異物混入時のシール性を向上させる。【解決手段】マイクロバルブ１０は、積層構造を有しており、基台層２０とダイヤフラム層３０とを備える。基台層には、マイクロバルブ内へガスを導入するための流入口２３、および、当該ガスを外部へ流出させるための流出口が形成されている。ダイヤフラム層は、基台層に対向して配置される。ダイヤフラム層は、弾性変形することによって流入口から流出口へのガスの流通と遮断とを切換える。ダイヤフラム層は、マイクロバルブ内へのニューマチック流体の流入に伴って弾性変形することが可能な複数の変形領域３３と、複数の剛体領域３４とが交互に形成された構成を有する。ダイヤフラム層は、複数の変形領域の少なくとも一部が弾性変形することによって、流入口および流出口の少なくとも一方を閉止する。【選択図】図３