OPTICAL GUIDE ASSEMBLY FOR ELECTRON MICROSCOPY

To provide an electron microscopy capable of detecting a Raman spectroscopy and/or cathodoluminescence detection.SOLUTION: An electron microscopy comprises an optical guide assembly 250 having: an electron column pole piece 202; and a mirror 220 which is coupled to the electron column pole piece 202...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MAREK UNKOVSKI, MICHAL GEREYK, JAN LASKO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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