OPTICAL GUIDE ASSEMBLY FOR ELECTRON MICROSCOPY

To provide an electron microscopy capable of detecting a Raman spectroscopy and/or cathodoluminescence detection.SOLUTION: An electron microscopy comprises an optical guide assembly 250 having: an electron column pole piece 202; and a mirror 220 which is coupled to the electron column pole piece 202 so as to be operated and contains one or more detector 257 and a stress limit aperture 225 in which an electron beam 207 from an electron source 204 passes. The mirror 220 is structured so as to collect a back scattering electron and a secondary electron by reflecting a light. A scanning electron microscopy 120 further comprises a chamber 203 as a vacuum environment, and the electron column pole piece 202 and the optical guide assembly 250 are arranged in the chamber 203.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】ラマン分光法および／またはカソードルミネッセンス検出が可能な電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子柱磁極片２０２、および電子柱磁極片２０２に動作可能に結合され、１つ以上の検出器２５７と、電子源２０４からの電子ビーム２０７が通過する圧力制限アパーチャ２２５を含むミラー２２０と、を有する光ガイドアセンブリ２５０を備え、ミラー２２０は、光を反射して後方散乱電子と二次電子とを収集するように構成される。走査電子顕微鏡１２０は真空環境であるチャンバー２０３を更に備え、電子柱磁極片２０２および光ガイドアセンブリ２５０がチャンバー２０３内に配置される。【選択図】図２