LOAD LOCK DEVICE

To provide a device that reduces floating of particles from a pump above a substrate during evacuation in a load lock chamber.SOLUTION: A load lock device 100 comprises: a load lock chamber 110 that has a first transfer port 111 connecting to a transfer chamber 20 connected to a pressure reduction processing device 10, and a second transfer port 112 connecting to a loader chamber 30; a substrate holder 120 in the load lock chamber 110; a drive mechanism 130 that raises and lowers the substrate holder 120; an extension chamber 140 that is extended from a lower part to the lateral sides of the load lock chamber 110; and a pump 150 for exhausting gas that is arranged below the extension chamber. An opening 142 in a bottom face of the extension chamber 140 to which the pump is connected is located at a position shifted from a vertical lower part of the substrate holder 120.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ロードロック室における真空排気時のポンプからの基板上方へのパーティクルの舞い上がりを低減下装置を提供する。【解決手段】ロードロック装置１００は、減圧処理装置１０と接続されるトランスファー室２０と接続する第１搬送口１１１、ローダー室３０と接続する第２搬送口１１２とを有するロードロック室１１０と、前記ロードロック室１１０の中の基板ホルダ１２０と、基板ホルダ１２０を昇降駆動機構１３０と、ロードロック室１１０の下部から側方に延長された延長室１４０と、その下方に配置されたガス排出様のポンプ１５０とを備える。ポンプが接続される延長室１４０底部の開口１４２は、基板ホルダ１２０の鉛直下方からずれた位置ある。【選択図】図１