BALL LOADING APPARATUS AND BALL LOADING METHOD

To provide a ball loading apparatus which can load two or more types of conductive balls having different diameters on a prescribed electrode provided on a substrate.SOLUTION: A ball loading apparatus 1 comprises: a flux printing device 6 which prints a flux F on electrodes 58, 59 of a substrate W b...

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Hauptverfasser: YAMAGISHI AKITAKA, OI YASUSHI, KAWAKAMI TOMOKI, KOTAKE TOSHIYUKI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a ball loading apparatus which can load two or more types of conductive balls having different diameters on a prescribed electrode provided on a substrate.SOLUTION: A ball loading apparatus 1 comprises: a flux printing device 6 which prints a flux F on electrodes 58, 59 of a substrate W by using a mask 22 for flux printing; and ball throwing-in devices 7, 8 which use two or more types of masks 40, 45 for ball throwing-in having holes 71, 72 for ball throwing-in having opening diameters corresponding to the diameters of conductive balls B1, B2 and throw in the conductive balls B1, B2 on the electrodes 58, 59 for each of the conductive balls B1, B2. The flux printing device 6 and the ball throwing-in devices 7, 8 have a first substrate conveyance unit 19 and a second substrate conveyance unit 26 for conveying the substrate W. The ball throwing-in devices 7, 8 are connected in the order of throwing in the conductive ball B1, conductive ball B2 from the flux printing device 6 side.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】1台で、基板に設けられた所定の電極に直径が異なる2種類以上の導電性ボールを搭載することが可能なボール搭載装置を提供すること。【解決手段】フラックス印刷用マスク22を用いて基板Wの電極58,59にフラックスFを印刷するフラックス印刷装置6と、導電性ボールB1,B2の直径に対応する開口径のボール振込用孔71,72を有する2種類以上のボール振込用マスク40,45を使用し、導電性ボールB1,B2ごとに電極58,59上に導電性ボールB1,B2を振り込むボール振込装置7,8とを備える。フラックス印刷装置6及びボール振込装置7,8は、基板Wを搬送する第1基板搬送ユニット19及び第2基板搬送ユニット26を有している。ボール振込装置7,8は、フラックス印刷装置6側から導電性ボールB1、導電性ボールB2を振り込む順に連結されているボール搭載装置1。【選択図】図1