IMAGE GENERATION METHOD, NON-TEMPORARY COMPUTER READABLE MEDIUM, AND SYSTEM

To provide an image generation method for generating an image corresponding to a multi-frame image from an image signal acquired by scanning a small number of frames.SOLUTION: There is proposed a method for generating an estimation image by: performing a plurality of two-dimensional beam scans on an object of a sample and integrating image signals acquired by a plurality of scans at first timing of image signals generated on the basis of the plurality of two-dimensional scans to generate a first image (S103); generating a second image on the basis of scans, the number of which is smaller than the number of the scans at the first timing, including scans after the first timing (S105); causing a learner to learn using teacher data taking the second image as input and the first image as output (S108); and inputting an image generated by scans, the number of which is smaller than that of the scans at the first timing, to the learned learner.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】本開示は、少ないフレーム数の走査によって得られた画像信号から、多フレーム画像に相当する画像を生成することを目的とする画像生成方法に関する。【解決手段】上記目的を達成するために、試料上の対象物に、ビームを複数回２次元走査し、当該複数回の２次元走査に基づいて生成される画像信号の内、第１のタイミングの複数の走査によって得られた画像信号を積算して第１の画像を生成（Ｓ１０３）し、前記第１のタイミングより後の走査を含み、第１のタイミングの走査回数より少ない回数の走査に基づいて第２の画像を生成（Ｓ１０５）し、前記第２の画像を入力、前記第１の画像を出力とする教師データを用いて、学習器を学習させ（Ｓ１０８）、当該学習された学習器に、第１のタイミングより少ない回数の走査によって生成される画像を入力することによって、推定画像を生成する方法を提案する。【選択図】図３