GAS ANALYZER

To determine whether or not components of a gas to be measured are same.SOLUTION: A gas analyzer 1 includes: a mass spectroscope 3 having an ion generating section 14 for generating a plurality of ions from a gas to be measured and an ion detecting section 16 for detecting the plurality of ions for each mass number; and a controller 4 for controlling the ion generating section 14 and obtaining evaluation information using an output of the ion detecting section 16. The controller 4 performs: first processing for obtaining first intensity information including intensity for each mass number of a plurality of ions generated according to first ionization energy; second processing for obtaining second intensity information including intensity for each mass number of a plurality of ions generated according to second ionization energy; third processing for obtaining evaluation information by comparing the first intensity information with the second intensity information.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】測定対象ガスの成分が同じであるか否かを判定する。【解決手段】ガス分析装置１は、測定対象ガスから複数のイオンを発生させるイオン発生部１４及び複数のイオンを質量数ごとに検出するイオン検出部１６を有する質量分析装置３と、イオン発生部１４を制御すると共にイオン検出部１６の出力を利用して評価情報を得るコントローラ４と、を備える。コントローラ４は、第１イオン化エネルギに応じて生じた複数のイオンの質量数ごとの強度を含む第１強度情報を得る第１処理と、第２イオン化エネルギに応じて生じた複数のイオンの質量数ごとの強度を含む第２強度情報を得る第２処理と、第１強度情報と第２強度情報とを比較することにより、評価情報を得る第３処理と、を行う。【選択図】図１