METHOD OF PRODUCING INORGANIC OXIDE POWDER

To enable stable continuous operation by preventing a flame of a burner from extinguishing away by a back flow accompanied by a pulse jet blow when slapping away the particles from a filtration material in a method of producing an inorganic oxide powder including the steps of synthesizing inorganic oxide particles by a gas phase combustion method using a multiple pipe burner having a center pipe, a first annular pipe, and a second annular pipe in this order and collecting the particles by a pulse jet-type filtrating dust collector.SOLUTION: The method includes (1) feeding a gas having an oxygen concentration of 45 vol.% to a second annular pipe, where (2) a ratio (V2/Vb) of a gas flow rate V2 at an outlet of a second annular pipe to a back flow rate Vb defined by the following formula is 0.3 or more. Vb=[2×ΔP/ρ]1/2, where in the formula, ΔP is a differential pressure (Pa) in a combustion chamber between a pressure at pulse jet blow and a pressure at non pulse jet blow in a filtrating dust collector, ρ is a mass density of air in a standard state that is 1.29 kg/Nm3.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 中心管、第１環状管及び第２環状管をこの順に有する多重管バーナを用いて気相燃焼法で無機酸化物粒子を合成し、当該粒子をパルスジェット式ろ過集塵装置により捕集する工程を有する無機酸化物粉末の製造方法において、ろ過材からの粒子の払い落としの際のパルスジェット噴射に伴う逆流でバーナの火炎が吹き消えるのを防止し、安定した連続運転を可能とする。【解決手段】 （１）第２環状管には酸素濃度が４５体積％以上のガスを供給し、かつ、（２）下記式で定義される逆流速Ｖｂに対する、前記第２環状管の出口におけるガス流速Ｖ２の比（Ｖ２／Ｖｂ）を０．３以上とする。Ｖｂ＝ ［２×ΔＰ／ρ］１／２（上記式中、ΔＰは前記ろ過集塵装置でのパルスジェット噴射時と非噴射時の燃焼室内の圧力差（Ｐａ）、ρは標準状態での空気の質量密度で１．２９ｋｇ／Ｎｍ３である。）【選択図】 図１