MULTILAYER ACTUATOR ELECTRODE STRUCTURE FOR IMPROVING RESONANCE

To provide a multilayer piezoelectric microactuator for a suspension device of a disc drive which can position accurately a head slider.SOLUTION: A multilayer piezoelectric microactuator 14 comprises: a first single active piezoelectric layer 131; a second single active piezoelectric layer 132; and a third single active piezoelectric layer 133. The first single active piezoelectric layer 131 comprises a top surface and a bottom surface. The second single active piezoelectric layer 132 comprises the top surface, and the bottom surface on the top surface of the first single active piezoelectric layer 131. The third single active piezoelectric layer 133 comprises the top surface and the bottom surface on the top surface of the second single active piezoelectric layer 132. A first effective electrode length 131D is defined by the first single active piezoelectric layer 131 and the second single active piezoelectric layer 132. A second effective electrode length 133D structured so as to be longer than the first effective electrode length 131D is defined by the second single active piezoelectric layer and the third single active piezoelectric layer.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】正確にヘッドスライダを位置決めできるディスクドライブのサスペンションデバイス用の多層圧電マイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】多層圧電マイクロアクチュエータ１４は、第１単一能動圧電層１３１、第２単一能動圧電層１３２および第３単一能動圧電層１３３を備える。第１単一能動圧電層１３１は、頂面及び底面を備える。第２単一能動圧電層１３２は、頂面及び第１単一能動圧電層１３１の頂面上の底面を備える。第３単一能動圧電層１３３は、頂面及び第２単一能動圧電層１３２の頂面上の底面を備える。第１単一能動圧電層１３１及び第２単一能動圧電層１３２によって、第１実効電極長１３１Ｄが定められる。第２単一能動圧電層及び第３単一能動圧電層によって、第１実効電極長１３１Ｄよりも長く構成されている第２実効電極長１３３Ｄが定められる。【選択図】図４