MOLDING DEVICE, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD USING MOLDING DEVICE

To provide a molding device capable of correcting the non-uniformity of light applied to a moldable material and easily adjusting the light intensity distribution.SOLUTION: In a molding device that forms a cured product with a surface shape corresponding to the contact surface of a mold on a substra...

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1. Verfasser: MATSUOKA YOICHI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a molding device capable of correcting the non-uniformity of light applied to a moldable material and easily adjusting the light intensity distribution.SOLUTION: In a molding device that forms a cured product with a surface shape corresponding to the contact surface of a mold on a substrate by irradiating a moldable material on the substrate in contact with the mold with light and curing the material, a mold holding portion includes a recess formed on a first surface, a first opening formed inside the recess, a second opening formed on a second surface, and a flow path communicating the first opening and the second opening. A first irradiation unit is configured to irradiate a first region with light, and a second irradiation unit includes a light emitting element array configured to irradiate a second region in which the flow path is formed.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】 成形可能材料に照射される光の不均一性を補正可能で、かつ、光の強度分布の調整を簡易にできる成形装置を提供することを目的とする。【解決手段】 型に接触させた基板上の成形可能材料に光を照射して硬化させることで、基板上に型の接触面に応じた表面形状の硬化物を形成する成形装置であって、型保持部は、第1面に形成された凹部と、凹部の内側に形成された第1開口と、第2面に形成された第2開口と、第1開口と第2開口を連通する流路を備える。第1照射部は、第1領域に光を照射するように構成され、第2照射部は、流路が形成された第2領域に光を照射するように構成された発光素子アレイを有する。【選択図】 図2