ILLUMINATION METHOD, LUMINAIRE AND INSPECTION DEVICE

To provide an illumination method capable of improving wavelength evenness of illumination light, a luminaire, and an inspection device.SOLUTION: The illumination method according to the present invention includes the steps of: ranking (M×N) light sources LS in the order of wavelength of light emitted by each light source LS; combing the first light source LS and the (M×N)-th light source LS to form a first pair PA1 and combing the a-th light source and the (M×N-a+1)-th light source to form a the a-th pair to thereby form a pair PA including the first pair PA1 through the (M×N/2)-th pair; when the light sources LS are aligned for each pair PA on the arrangement position of N light sources LS arranged on a substrate SU in one direction, arranging a prescribed pair PA on one end side in one direction and the pair PA behind the prescribed pair PA on the other end side, and arranging a pair PA behind the pair PA on the other end side between the pair PA on the one end side and the pair PA on the other end side; and using the N light sources LS arranged on the substrate SU for illumination.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】照明光の波長の均一化を向上させることができる照明方法、照明装置及び検査装置を提供する。【解決手段】本発明に係る照明方法は、（Ｍ×Ｎ）個の光源ＬＳを、各光源ＬＳが生成する光の波長の順に順位付けするステップと、第１の光源ＬＳと第（Ｍ×Ｎ）の光源ＬＳとを第１ペアＰＡ１とし、第ａの光源と第（Ｍ×Ｎ−ａ＋１）の光源とを第ａペアとすることにより、第１ペアＰＡ１から第（Ｍ×Ｎ／２）ペアまで、ペアＰＡを形成するステップと、基板ＳＵ上に一方向に並んだＮ個の光源ＬＳの配置位置に、ペアＰＡ毎に光源ＬＳを並べて配置する際に、所定のペアＰＡを、一方向における一端側に配置し、所定のペアＰＡよりも後ろのペアＰＡを他端側に配置し、一端側のペアＰＡと他端側のペアＰＡとの間に、他端側のペアＰＡよりも後ろのペアＰＡを配置するステップと、基板ＳＵ上に配置されたＮ個の光源ＬＳを用いて照明するステップと、を備える。【選択図】図１