WIRING BOARD, ELECTRONIC APPARATUS, AND ELECTRONIC MODULE
To provide a wiring board having a SiC substrate, a NiSi layer ohmically joined to the SiC substrate, and a conductor film on the NiSi layer, and prevent interlayer separation of the films; and to provide an electronic apparatus and an electronic module having high reliability.SOLUTION: The wiring b...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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