PRESSURE SENSOR

To provide a pressure sensor that is able to improve reliability.SOLUTION: A pressure sensor comprises: a stem 10 having a pressure introduction hole 12 in which a pressure medium is introduced and a diaphragm 13 deformable according to pressure of the pressure medium; and a distortion detection ele...

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Hauptverfasser: KAMANARI SHIRO, YANAGISAWA YASUSHI, URA YASUTAKE, MIYASHITA KAORI, TAKEUCHI HISAYUKI, TAKEDA HIDETSUGU, KAMATA YUKIHIRO, ASANO KOJI, YOSHIDA NAOKI, NIIMI NAOHISA, YAMADA NOBUAKI, MIDORIKAWA YUSUKE, TOMOMATSU YOSHIHIRO, YOKOYAMA KENICHI, TAKAHASHI MASAKAZU, KODAMA HIROSHI, TOYODA INEO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a pressure sensor that is able to improve reliability.SOLUTION: A pressure sensor comprises: a stem 10 having a pressure introduction hole 12 in which a pressure medium is introduced and a diaphragm 13 deformable according to pressure of the pressure medium; and a distortion detection element 30 disposed in the diaphragm 13 and that outputs a detection signal corresponding to deformation of the diaphragm 13. The stem 10 has a first stem 101 composing a diaphragm 13 side and a second stem 102 composing an open-end side of the pressure introduction hole 12 and is composed by joining the first stem 101 and the second stem 102 via a welding portion 103. In addition, the second stem 102 has, between the welding portion 103 and the open end, a thin wall portion 121 reduced in thickness between an internal wall and an external wall in comparison with a portion in which the weld portion 103 is formed.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13に配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。そして、ステム10は、ダイアフラム13側を構成する第1ステム101と、圧力導入孔12における開口端側を構成する第2ステム102とを有し、第1ステム101と第2ステム102とが溶接部103を介して接合されることで構成されるようにする。また、第2ステム102は、溶接部103と開口端との間に、溶接部103が形成される部分よりも内壁面と外壁面との間の厚さが薄くされた薄肉部121を有するようにする。【選択図】図1