FLEXIBLE MICROMACHINED TRANSDUCER DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

To provide structures for providing flexibility of a micromachined transducer array.SOLUTION: In a structure for providing flexibility of a micromachined transducer array, a transducer array includes a plurality of transducer elements, each comprising a piezoelectric element and one or more electrodes disposed in or on a support layer. The support layer is bonded to a flexible layer 256 including a polymer material, where flexibility of the transducer array results in part from a total thickness of a flexible layer. Flexibility of the transducer array results in part from one or more flexural structures formed therein.SELECTED DRAWING: Figure 2K 【課題】マイクロ加工のトランスジューサアレイの柔軟性を与える構造を提供する。【解決手段】マイクロ加工のトランスジューサアレイの柔軟性を与える構造であって、トランスジューサアレイは、複数のトランスジューサ素子を備える。トランスジューサ素子各々は、圧電素子と、支持層内又はその上に配置された１つ以上の電極とを含む。支持層は、ポリマー材料を含む柔軟な層２５６に接合され、トランスジューサアレイの柔軟性は、柔軟な層の全厚みから一部分生じる。また、トランスジューサアレイの柔軟性は、そこに形成される１つ以上の撓み構造体から一部分生じる。【選択図】図２Ｋ