OPTICAL DISPLACEMENT METER

To improve the accuracy of measuring a measurement object in an optical displacement meter of light shut-off type.SOLUTION: An image sensor is constituted so as to output the received light amount of reflected light for each preset exposure time. The exposure time includes a first period and a second period that follows the first period. When the charge accumulated in a pixel in the first period exceeds a half-reset voltage, a half-reset is executed so that the pixel voltage equals the half-reset voltage and charge accumulation is restarted in the second period. When the charge accumulated in the pixel in the first period does not exceed the half-reset voltage, charge accumulation, with respect to the pixel, is executed in succession over the first and second periods. A light source is continuously lighted in the first period and the light source goes off when a third period shorter than the second period elapses in the second period.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】光切断方式の光学式変位計において測定対象物の測定精度を向上させること。【解決手段】画像センサは予め設定された露光時間ごとに反射光の受光量を出力するように構成されている。露光時間は、第一期間と、第一期間の後に続く第二期間とを有する。第一期間において画素に蓄積された電荷がハーフリセット電圧を超えた場合、画素の電圧がハーフリセット電圧となるようにハーフリセットが実行され、第二期間において電荷の蓄積が再開される。第一期間において画素に蓄積された電荷がハーフリセット電圧を超えていない場合、該画素について第一期間および第二期間にわたって継続的に電荷の蓄積が実行される。第一期間において光源が継続的に点灯し、第二期間において第二期間よりも短い第三期間が経過すると光源が消灯する。【選択図】図５