DIAPHRAGM AND FLUID DEVICE
To provide a diaphragm which can inhibit a fluid from remaining between a diaphragm side taper surface and a body side taper surface, and to provide a fluid device.SOLUTION: A diaphragm 30 includes: a fixed part 32 fixed to a body part 10; and a flexible thin film part 33 integrally connected with t...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | To provide a diaphragm which can inhibit a fluid from remaining between a diaphragm side taper surface and a body side taper surface, and to provide a fluid device.SOLUTION: A diaphragm 30 includes: a fixed part 32 fixed to a body part 10; and a flexible thin film part 33 integrally connected with the fixed part 32. The fixed part 32 has: a cylindrical press-fitting part 34 press-fitted in a cylindrical seal groove 15 formed at the body part 10; and a diaphragm side taper surface 38 formed at its axis C side relative to the press-fitting part 34. In a state where the press-fitting part 34 is press-fitted in the seal groove 15, an inclination angle θ1 of the diaphragm side taper surface 38 relative to an axis C is smaller than an inclination angle θ2 of a body side taper surface 18 formed at the body part 10 relative to the axis C. An end part 38a of the diaphragm side taper surface 38 contacts with the body side taper surface 18.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制できるダイアフラム、及び流体機器を提供する。【解決手段】ダイアフラム30は、ボディ部10に対して固定される固定部32と、固定部32に一体に接続された可撓性を有する薄膜部33とを備える。固定部32は、ボディ部10に形成された筒状のシール溝15に圧入される筒状の圧入部34と、圧入部34よりもその軸心C側に形成されたダイアフラム側テーパ面38と、を有する。圧入部34がシール溝15に圧入された状態で、ダイアフラム側テーパ面38の軸心Cに対する傾斜角度θ1が、ボディ部10に形成されたボディ側テーパ面18の軸心Cに対する傾斜角度θ2よりも小さく、ダイアフラム側テーパ面38の端部38aが、ボディ側テーパ面18に当接する。【選択図】図2 |
---|