INSPECTION DEVICE

To provide an inspection device that can significantly reduce an inspection time.SOLUTION: An inspection device includes a stage on which a sample is placed and continuously moved, a primary optical system that irradiates the sample on the stage with a primary beam, a retarding power supply that applies a retarding voltage to the sample on the stage, a voltage control unit that changes the retarding voltage such that the landing energy of the primary beam realizes both an inspection energy condition and a precharge energy condition, a detector that includes a two-dimensional sensor that produces an image of a secondary beam generated from the sample by irradiating the sample with the primary beam, and a secondary optical system that guides the secondary beam to the two-dimensional sensor. The voltage control unit superimposes a pulse synchronized with the feed rate of the pixel of the two-dimensional sensor on the retarding voltage such that both the precharge energy condition and the inspection energy condition are sequentially realized within one pixel of the two-dimensional sensor.SELECTED DRAWING: Figure 18 【課題】 検査時間を大幅に短縮できる検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置は、試料を載置して連続的に移動するステージと、ステージ上の試料に対して一次ビームを照射する一次光学系と、ステージ上の試料にリターディング電圧を印加するリターディング電源と、一次ビームのランディングエネルギーが検査エネルギー条件とプレチャージエネルギー条件の両方を実現するように、リターディング電圧を変更する電圧制御部と、一次ビームを試料に照射することにより試料から発生した二次ビームの像を生成する二次元センサを含む検出器と、二次ビームを二次元センサに導く２次光学系と、を備える。電圧制御部は、二次元センサの１画素内でプレチャージエネルギー条件と検査エネルギー条件の両方が順に実現されるように、二次元センサの画素の送り速度に同期したパルスをリターディング電圧に重畳する。【選択図】 図１８