MOUNTING OF PRESSURE SENSOR DIE

To provide pressure sensor systems and methods of assembling pressure sensor systems, which reduce the need for accurate placement of a pressure sensor die in a pressure sensor package, reduce leakage in pressure sensor systems, and secure consistent mounting of a pressure sensor die in a package.SO...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: CHRIS WAGNER, KEYANOUSH RAZAVIDINANI, VAN SPRAKELAAR GERTJAN
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:To provide pressure sensor systems and methods of assembling pressure sensor systems, which reduce the need for accurate placement of a pressure sensor die in a pressure sensor package, reduce leakage in pressure sensor systems, and secure consistent mounting of a pressure sensor die in a package.SOLUTION: A pressure sensor system package or substrate 100 has a trench 110. A first material (adhesive) 400 partially fills the trench 110 and is cured. A second material 500 is added over the first material 400. While the second material (adhesive) 500 is still liquid, a pressure sensor die 200 is placed in the trench such that a bottom 224 of a frame 220 rests on top of the first material 400. The second material 500 is then cured to fix the pressure sensor die 200 in place.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】パッケージ内に圧力センサダイを正確に配置する必要性を低減させ、圧力センサシステム内の漏れを低減させ、かつパッケージへの圧力センサダイの一貫した取付けを提供する圧力センサシステムおよび圧力センサシステムを組み立てる方法を提供する。【解決手段】圧力センサシステムパッケージまたは基板100が、トレンチ110を有する。第1の材料(接着剤)400が、トレンチ110に部分的に充填され、硬化させられる。第1の材料400の上に、第2の材料500が追加される。第2の材料(接着剤)500が依然として液体である間に、圧力センサダイ200がトレンチ内に配置され、その結果、フレーム220の底部224が第1の材料400の上に留まる。次いで、第2の材料500を硬化させて、圧力センサダイ200を定位置に固定する。【選択図】図5