IMAGE MATCHING DETERMINATION METHOD, IMAGE MATCHING DETERMINATION DEVICE, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM CAPABLE OF RECORDING PROGRAMS FOR CAUSING COMPUTERS TO EXECUTE IMAGE MATCHING DETERMINATION METHOD

To provide a method capable of accurately determining whether or not matching processing between patterns has succeeded.SOLUTION: An image matching determination method comprises the steps of: moving an object having a pattern created based on a CAD pattern on design data to a predetermined imaging position by a moving stage, and generating an actual image of the pattern of the object at the predetermined imaging position; calculating a movement vector of the moving stage; executing matching processing between the CAD pattern and the pattern on the actual image; calculating the amount of deviation between the CAD pattern and the pattern on the actual image; inputting shape data of the CAD pattern, the amount of deviation, and the movement vector of the moving stage into a model constructed by machine learning; and performing the calculation according to the algorithm defined by the model to output an index value indicating whether the matching processing has succeeded or failed from the model.SELECTED DRAWING: Figure 8 【課題】パターン間のマッチング処理に成功したか否かを正確に判定することができる方法を提供する。【解決手段】画像マッチング判定方法は、設計データ上のＣＡＤパターンに基づいて作成されたパターンを有する対象物を移動ステージにより所定の撮像位置まで移動させ、所定の撮像位置にある対象物のパターンの実画像を生成し、移動ステージの移動ベクトルを算出し、ＣＡＤパターンと、実画像上のパターンとのマッチング処理を実行し、ＣＡＤパターンと、実画像上のパターンとのずれ量を算出し、ＣＡＤパターンの形状データと、ずれ量と、移動ステージの移動ベクトルを、機械学習により構築されたモデルに入力し、モデルによって定義されたアルゴリズムに従って計算を実行することで、モデルから、マッチング処理が成功したか、または失敗したかを示す指標値を出力する。【選択図】図８