VACUUM PUMP DEVICE
To provide a vacuum pump device that can reduce an installation space for a vacuum pump and can be reliably restarted.SOLUTION: A vacuum pump device 1 comprises: a pair of pump rotors arranged opposite to each other that are Roots rotors or claw rotors; a pair of shafts 8 to which the pair of pump r...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | To provide a vacuum pump device that can reduce an installation space for a vacuum pump and can be reliably restarted.SOLUTION: A vacuum pump device 1 comprises: a pair of pump rotors arranged opposite to each other that are Roots rotors or claw rotors; a pair of shafts 8 to which the pair of pump rotors are fixed, and that extends in a vertical direction; a motor 10 that rotates the pair of pump rotors; a pair of timing gears 25 that are fixed to the pair of shafts 8 and engaged with each other; a fixed side bearing that is arranged above the pair of pump rotors; and a free side bearing that supports the shafts 8 together with the fixed side bearing.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】真空ポンプの設置スペースを小さくすることができ、かつ確実に再起動することができる真空ポンプ装置が提供される。【解決手段】真空ポンプ装置1は、互いに対向して配置され、かつルーツロータまたはクローロータである、一対のポンプロータと、一対のポンプロータが固定された、鉛直方向に延びる一対の軸8と、一対のポンプロータを回転させるモータ10と、一対の軸8に固定され、かつ互いに噛み合う一対のタイミングギヤ25と、一対のポンプロータの上方に配置された固定側軸受と、固定側軸受とともに、軸8を支持する自由側軸受と、を備えている。【選択図】図1 |
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