SCINTILLATOR MANUFACTURING DEVICE
To provide an effective technique for forming a scintillator.SOLUTION: A scintillator manufacturing device includes an evaporation source for supplying a scintillator material, and a holding part for holding a substrate while a first face of a substrate is inclined in a perpendicular direction perpe...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | To provide an effective technique for forming a scintillator.SOLUTION: A scintillator manufacturing device includes an evaporation source for supplying a scintillator material, and a holding part for holding a substrate while a first face of a substrate is inclined in a perpendicular direction perpendicularly above the evaporation source. The holding part includes a mask part having an opening defining a region of the first face forming the scintillator, and a fixing part for fixing a position of the substrate to the mask part. The fixing part includes plural fixing members, and the plural fixing members are arranged at a position overlaid on a contact part in a front projection to the contact part of the mask part in contact with the substrate, so that a load is applied to the substrate from a side of the substrate on a second face opposite to the first face.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】シンチレータの形成に有利な技術を提供する。【解決手段】シンチレータ材を供給するための蒸発源と、蒸発源の鉛直上方に基板の第1面を鉛直方向に対して傾けた状態で基板を保持するための保持部と、を含むシンチレータ製造装置であって、保持部は、第1面のうちシンチレータを形成する領域を規定する開口部を有するマスク部と、マスク部に対する基板の位置を固定するための固定部と、を含み、固定部は、複数の固定部材を含み、複数の固定部材が、基板のうち第1面とは反対の側の第2面の側から基板に荷重を掛けるように、マスク部のうち基板と接触する接触部に対する正射影において、接触部と重なる位置に配される。【選択図】図2 |
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