HOLDING JIG
To provide a holding jig having an adhesive layer, in which abrasion resistance of the adhesive layer is improved.SOLUTION: The holding jig has a substrate 11 and an adhesive layer 12 provided on a surface of the substrate 11. The adhesive layer 12 is made of silicone rubber. The holding jig 10 has...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | To provide a holding jig having an adhesive layer, in which abrasion resistance of the adhesive layer is improved.SOLUTION: The holding jig has a substrate 11 and an adhesive layer 12 provided on a surface of the substrate 11. The adhesive layer 12 is made of silicone rubber. The holding jig 10 has skewness Rsk of less than 0 on a surface 12a of the adhesive layer 12. A load length ratio Mr1 of a core portion on a surface of the adhesive layer is preferably 6% or more and 10% or less. A load length ratio Rmr (50%) on the surface of the adhesive layer is preferably 50% or more and 65% or less.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】粘着層を備えた保持治具において、粘着層の耐摩耗性が向上した保持治具を提供する。【解決手段】基板11と、基板11の表面に設けられた粘着層12とを有してなり、粘着層12が、シリコーンゴムからなり、粘着層12の表面12aにおけるスキューネスRskが0より小さい保持治具10とする。粘着層の表面におけるコア部の負荷長さ率Mr1が、6%以上10%以下であることが好ましく、粘着層の表面における負荷長さ率Rmr(50%)が、50%以上65%以下であることが好ましい。【選択図】図1 |
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