INSPECTION METHOD AND INSPECTION DEVICE

To provide an inspection method for a flowrate controller, with which it is possible to inspect the control function of the flowrate controller.SOLUTION: The inspection method for a flowrate controller that controls the flowrate of a fluid includes: a reference recording step for generating and recording a three-dimensional database on the basis of reference data measured in a reference measurement step, in which first pressure, a set flowrate or second pressure, and the control value of a piezoelectric element are associated; a target measurement step for measuring the control value of the piezoelectric element, as target data, that corresponds to the first pressure detected by a first pressure detector, the set flowrate designated in a recipe of a substrate treatment process or the second pressure detected by a second pressure detector; and a determination step for comparing the target data and the reference data included in the three-dimensional database and thereby determining whether or not there is a fault in a diaphragm valve.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】流量制御器の制御機能を検査することができる流量制御器の検査方法を提供する。【解決手段】流体の流量制御を行う流量制御器の検査方法は、基準測定ステップにて測定された基準データに基づいて、第１圧力と、設定流量又は第２圧力と、圧電素子の制御値とを関連付けた３次元データベースを生成及び記録する基準記録ステップと、基板処理プロセスの実行時において、第１圧力検出器により検出された第１圧力と、基板処理プロセスのレシピで指定された設定流量又は第２圧力検出器により検出された第２圧力と、に対応する圧電素子の制御値を対象データとして測定する対象測定ステップと、対象データと３次元データベースに含まれる基準データとを比較することで、ダイヤフラムバルブに不具合があるか否かを判定する判定ステップと、を含む。【選択図】図１