MEASUREMENT METHOD AND MEASUREMENT DEVICE

To provide a measurement method and a measurement device capable of quickly measuring the shape of a measurement surface of a specimen.SOLUTION: A measurement method using a confocal optical system 20 includes the steps of condensing reflection light 12 reflected on a measurement surface 51 of a specimen 50 by an object lens 34, making the reflection light 12 condensed by the objective lens 34 incident on a corner part of a prism including a first reflection surface 36a and a second reflection surface 36b to split the reflection light 12, making first reflection light 12a, out of the split reflection light 12, reflected on the first reflection surface 36a incident on a bundle fiber 39 including a first channel 39a and a second channel 39b, detecting first intensity of the first reflection light 12a having penetrated the first channel 39a and second intensity of the same having penetrated the second channel, and measuring a position of the measurement surface 51 with respect to a focal point 53 of the objective lens 34 on the basis of the first intensity and the second intensity.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】試料の測定面の形状を迅速に測定することができる測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】本発明に係る測定方法は、共焦点光学系２０を用いた測定方法であって、試料５０の測定面５１で反射した反射光１２を対物レンズ３４により集光するステップと、対物レンズ３４により集光した反射光１２を、プリズムの第１反射面３６ａ及び第２反射面３６ｂを含む角部に入射させ、反射光１２を分割するステップと、分割された反射光１２のうち第１反射面３６ａで反射した第１反射光１２ａを、第１チャンネル３９ａ及び第２チャンネル３９ｂを含むバンドルファイバ３９に入射させるステップと、第１反射光１２ａのうち第１チャンネル３９ａを透過した第１強度、及び、第２チャンネルを透過した第２強度を検出するステップと、第１強度及び第２強度に基づいて、対物レンズ３４の焦点５３に対する測定面５１の位置を測定するステップと、を備える。【選択図】図１