MANUFACTURING METHOD OF VAPOR DEPOSITION MASK

To provide a manufacturing method of a vapor deposition mask capable of satisfying a high-definition and weight saving even if a size of the vapor deposition mask is increased.SOLUTION: A manufacturing method manufactures a vapor deposition mask in which a metal mask with a slit arranged therein and a resin mask with an opening arranged for corresponding to a vapor deposited pattern are laminated. The manufacturing method includes a step for preparing a laminate in which a supporting body, a metal layer arranged peelable from the supporting body, and a resin layer are laminated in this order, a step for forming a metal mask with a slit by depositing a metal on the resin layer using a plating method, a step for forming a resin mask by forming an opening in the resin layer that corresponds to a pattern to be vapor deposited and overlaps the slit provided in the metal mask, a step for forming a through hole in the metal layer that corresponds to the opening, and a step for peeling the supporting body from the metal layer in which the through hole is formed.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクの製造方法を提供すること。【解決手段】スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、支持体と、該支持体から剥離可能に設けられた金属層と、樹脂層と、がこの順で積層された積層体を準備する工程と、樹脂層上に、めっき法を用いて金属を析出させることでスリットが設けられた金属マスクを形成する工程と、前記樹脂層に、蒸着作製するパターンに対応し、かつ金属マスクに設けられたスリットと重なる開口部を形成することで樹脂マスクを形成する工程と、開口部に対応する貫通孔を、金属層に形成する工程と、貫通孔が形成された金属層から支持体を剥離する工程と、を備える。【選択図】図１