LIQUID MATERIAL COATING DEVICE

To improve production efficiency of a liquid material coating device.SOLUTION: A liquid material coating device determines a target position of a liquid material applied onto a substrate using a coordinate plane having a first direction and a second direction perpendicular to each other. A control device performs correction processing S10 of correcting a first parameter and a second parameter using position deviations (dX and dY) between the target position calculated from an image when the substrate is viewed in a plane from a normal direction of a coordinate plane and a coating position of the liquid material. The control device performs correction processing at a time interval equal to or less than a first time interval T1 when a magnitude Δ of the position deviation is larger than a first threshold Δd, and performs correction processing at a time interval equal to or less than a second time interval T2 when the magnitude of the position deviation is smaller than the first threshold Δd. The second time interval T2 is longer than the first time interval T1.SELECTED DRAWING: Figure 10 【課題】液状材料塗布装置の生産効率を向上させる。【解決手段】本発明に係る液状材料塗布装置は、互いに直交する第１方向および第２方向を有する座標平面を用いて、基板上に塗布される液状材料の目標位置を決定する。制御装置は、座標平面の法線方向から基板を平面視した画像から算出された目標位置と液状材料の塗布位置との位置ずれ（ｄＸ，ｄＹ）を用いて第１パラメータおよび第２パラメータを補正する補正処理Ｓ１０を行なう。制御装置は、位置ずれの大きさΔが第１しきい値Δｄより大きい場合、第１時間間隔Ｔ１以下の時間間隔で補正処理を行ない、位置ずれの大きさが第１しきい値Δｄより小さい場合、第２時間間隔Ｔ２以上の時間間隔で補正処理を行なう。第２時間間隔Ｔ２は、第１時間間隔Ｔ１より長い。【選択図】図１０