VACUUM PROCESSING APPARATUS, VACUUM PROCESSING SYSTEM, AND VACUUM PROCESSING METHOD

To provide a technique advantageous in downsizing and simplifying a vacuum processing apparatus.SOLUTION: In a processing container of a vacuum processing apparatus, first and second transfer spaces are provided at adjacent positions to extend in a horizontal direction. Between the first and second transfer spaces, a middle wall part is provided along an extension direction. In the first transfer space, one or more processing spaces are arranged along the extension direction. In the second transfer space, two or more processing spaces are arranged along the extension direction. In the middle wall part, there are formed: exhaust paths each of which is provided for each of the three or more processing spaces; and a confluent exhaust path at which the exhaust paths meet. With the confluent exhaust path provided in the processing container, it is possible to downsize and simplify the vacuum processing apparatus.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】 真空処理装置の小型化や簡素化に有利な技術を提供すること。【解決手段】 真空処理装置の処理容器内において、互いに隣り合う位置に、第１及び第２の搬送空間が水平方向に延設されると共に、前記延設方向に沿って、第１及び第２の搬送空間の間に中間壁部が設けられる。第１の搬送空間には、延設方向に沿って１つ以上の前記処理空間が配置され、第２の搬送空間には、延設方向に沿って２つ以上の前記処理空間が配置される。そして、中間壁部内には、前記３つ以上の処理空間に対して各々設けられた排気路と、これら排気路が合流する合流排気路とが形成されている。処理容器内に合流排気路が設けられることから、真空処理装置の小型化及び簡素化を図ることができる。【選択図】 図４