CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS, MACHINE LEARNING METHOD, AND ELECTRONIC FILE

To refer to an image to be obtained when an observation condition is changed without actually changing the observation condition in a scanning electron microscope or the like.SOLUTION: An image conversion unit 28 includes a selector 30 and a plurality of image converters 32-1, ..., and 32-n. Each of the image converters is configured by a machine learning type estimator, and estimates an image acquired under a second observation condition as a reference image from an image acquired under a first observation condition. When a specific reference image is selected from a plurality of reference images displayed on a display 36, the second observation condition corresponding to the selected reference image is set in the observation mechanism 10 as the current observation condition.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】走査型電子顕微鏡等において、観察条件を実際に変更することなく、観察条件を変更したならば得られるであろう画像を参照できるようにする。【解決手段】画像変換部２８は、セレクタ３０及び複数の画像変換器３２−１，・・・，３２−ｎを含む。各画像変換器は、機械学習型の推定器により構成され、第１観察条件下で取得された画像から、第２観察条件下で取得される画像を参照画像として推定するものである。表示器３６に表示された複数の参照画像の中から特定の参照画像を選択すると、それに対応する第２観察条件が現観察条件として観察機構１０に設定される。【選択図】図１