OZONE GENERATION APPARATUS
To provide an ozone generation apparatus capable of efficiently generating ozone.SOLUTION: An ozone generation apparatus comprises a first dielectric that includes a first electrode therein and has a first surface, with a first through hole perpendicular to the first surface, and a second dielectric...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | To provide an ozone generation apparatus capable of efficiently generating ozone.SOLUTION: An ozone generation apparatus comprises a first dielectric that includes a first electrode therein and has a first surface, with a first through hole perpendicular to the first surface, and a second dielectric that includes a second electrode therein and has a second surface, with a second through hole perpendicular to the second surface. The first dielectric and the second dielectric are arranged such that the first surface and the second surface face each other. In the ozone generation apparatus, when viewed from the perpendicular direction of the first surface and the second surface, the first through hole and the second through hole are arranged such that the position of the first through hole and the position of the second through hole do not overlap each other. The first through hole, a gap between the first surface and the second surface, and the second through hole form a flow path of an ozone raw material gas. The first through hole forms an inlet of the raw material gas, and the second through hole forms an outlet of the raw material gas.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】オゾンを効率よく発生することのできるオゾン発生装置を提供する。【解決手段】オゾン発生装置は、第1電極を内部に備えるとともに第1面を備えた第1誘電体であって、第1面に垂直な第1貫通孔を備えた第1誘電体と、第2電極を内部に備えるとともに第2面を備えた第2誘電体であって、第2面に垂直な第2貫通孔を備えた第2誘電体と、を備える。第1面と第2面とが対向するように第1誘電体および第2誘電体が配置されている。第1面または第2面の垂直方向からオゾン発生装置を見た場合に、第1貫通孔の位置と第2貫通孔の位置が重ならないように、第1貫通孔および第2貫通孔が配置されている。第1貫通孔、第1面と第2面との隙間、および第2貫通孔によってオゾンの原料ガスの流路が形成されている。第1貫通孔によって原料ガスの流入口が形成されるとともに、第2貫通孔によって原料ガスの排出口が形成されている。【選択図】図1 |
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