LOAD PORT

To provide a load port capable of increasing sealing performance in an EFEM, reducing a supply amount of a gas used in the EFEM, and improving a quality of a wafer.SOLUTION: Each of load ports 3 is adjusted and provided in a wafer conveying chamber for taking in and out a wafer between the wafer conveying chamber and a wafer housing container, and comprises: a panel 31 that constitutes one part of a wall surface of the wafer conveying chamber, and forms an opening for opening the wafer conveying chamber; a door part 61 for opening and closing the opening; a mounting stage 34 that mounts the wafer housing container so that a lid part capable of opening and closing an inner space is opposite to the door part to enable progressing and retiring toward/from the panel 31; and an o-ring 44 provided on the mounting stage 34 side of the panel 31 along a periphery of the opening. By moving the mounting stage 34 to the panel 31, the o-ring 44 is elastically contacted to the circumference of the lid part in the wafer hosing container.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】ＥＦＥＭ内の密閉性を高め、ＥＦＥＭで使用するガスの供給量を削減するとともに、ウェーハの品質向上を図ることのできるロードポートを提供する。【解決手段】ロードポート３は、ウェーハ搬送室に隣接して設けられ、ウェーハ搬送室とウェーハ収納容器との間でのウェーハの出し入れを行うためのものであって、ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成されたパネル３１と、開口を開閉するための扉部６１と、内部空間を開閉可能とする蓋部を扉部に対向させるようにウェーハ収納容器を載置してパネル３１に向かって進退可能とする載置台３４と、開口の周縁に沿ってパネル３１の載置台３４側に設けられたＯリング４４とを備える。載置台３４をパネル３１に向かって移動させることで、ウェーハ収納容器における蓋部の周囲にＯリング４４が弾接する。【選択図】図４