X RAY SOURCE OPTICAL SYSTEM FOR SMALL-ANGLE X-RAY SCATTEROMETRY

To provide an X-ray apparatus having a mount, an X-ray source, a detector and a beam limiter.SOLUTION: In the X-ray apparatus, a mount is configured to hold a planar sample. An X-ray source is configured to direct a beam of X-rays toward a first side of a sample. A detector is positioned on a second side of the sample, opposite the first side, so as to receive at least a part of X-rays that have been transmitted through the sample. A beam limiter includes first and second blades and first and second actuators. The first and second blades have respective first and second edges, and these edges are positioned in mutual proximity so as to define a slit, through which the beam of the X-rays will pass, at a distance smaller than 25 mm from the first side of the sample. The first and second actuators are configured to shift the first and second blades along first and second translation axes, respectively, so as to adjust a width of the slit.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】マウントと、Ｘ線源と、検出器と、ビームリミッタとを有するＸ線装置を提供する。【解決手段】マウントは平面のサンプルを保持するように構成される。Ｘ線源はＸ線のビームをサンプルの第１の側に向けるように構成される。検出器はサンプルを透過したＸ線の少なくとも一部を受光するように、サンプルの第１の側とは反対の第２の側に配置される。ビームリミッタは、第１および第２のブレードと第１および第２のアクチュエータとを含む。第１および第２のブレードは、それぞれ第１および第２の縁部を有し、それら縁部は、サンプルの第１の側から２５ｍｍ未満の距離で、Ｘ線のビームが通過するスリットを画定するように、互いに近接して配置される。第１および第２のアクチュエータは、スリットの幅を調整するために、第１および第２のブレードを、それぞれ第１および第２の並進軸に沿って移動させるように構成される。【選択図】図１