THIN FILM CAPACITOR MANUFACTURING METHOD AND THIN FILM CAPACITOR
To provide a thin film capacitor manufacturing method and a thin film capacitor which can suppress an electrode layer from being excessively etched.SOLUTION: A method for manufacturing a thin film capacitor 1 comprises: a lamination step of laminating a plurality of electrode layers (internal electr...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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