ORGANIC EL DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DISPLAY

To prevent a trouble due to etching in a method for manufacturing an organic EL display.SOLUTION: A method for manufacturing an organic EL display includes, in this order, forming an inorganic insulating material film to cover a substrate on which a display area including a plurality of pixels and a...

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Hauptverfasser: SUMIDA SHIRO, OHARA HIROKI
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To prevent a trouble due to etching in a method for manufacturing an organic EL display.SOLUTION: A method for manufacturing an organic EL display includes, in this order, forming an inorganic insulating material film to cover a substrate on which a display area including a plurality of pixels and a component mounting area in which a component is mounted are located, and is provided with wiring arranged from the display area to the component mounting area; forming a metal film on the inorganic insulating material film located in the display area; removing an area of the inorganic insulating material film not covered by the metal film by dry etching to expose part of the wiring; and patterning the metal film to form an electrode of a touch panel.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】有機EL表示装置の製造方法において、エッチングによる不具合を抑制する。【解決手段】有機EL表示装置の製造方法であって、複数の画素を備える表示領域と部品が実装される部品実装領域とが位置し、前記表示領域から前記部品実装領域にわたって配置される配線が設けられた基材を覆うように無機絶縁材料膜を形成すること、前記表示領域に位置する無機絶縁材料膜上に金属膜を形成すること、前記金属膜で覆われていない領域の無機絶縁材料膜をドライエッチングにより除去して前記配線の一部を露出させること、前記金属膜をパターニングしてタッチパネルの電極を形成すること、をこの順で含む。【選択図】図5