SAMPLE ANALYZER AND SAMPLE ANALYSIS METHOD

To provide a sample analyzer and a sample analysis method with which it is possible to accurately analyze the structure of a sample using electric field evaporation, or suppress the deformation of the tip shape of the sample, even when the tip shape of the sample is deformed.SOLUTION: A sample analyzer according to the present embodiment includes a voltage source for applying a voltage to a sample. A laser irradiation unit irradiates the sample with a laser beam. A detection unit detects particles released from the sample. An arithmetic unit specifies the material quality of particles by the mass spectrometry of the particles detected by the detection unit and analyzes the structure of the sample. The arithmetic unit calculates a structural ratio of analysis information indicating the structure of the sample obtained by mass spectrometry to model information indicating the structure of a previously prepared sample, and corrects analysis information applying the ratio to the analysis information.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】試料の先端形状が変形しても、電界蒸発を用いて試料の構造を正確に解析することができ、あるいは、試料の先端形状の変形を抑制することができる試料解析装置および試料解析方法を提供する。【解決手段】本実施形態による試料解析装置は、試料へ電圧を印加する電圧源を備える。レーザ照射部は、試料にレーザ光を照射する。検出部は、試料から放出された粒子を検出する。演算部は、検出部で検出された粒子の質量分析によって粒子の材質を特定し、試料の構造を解析する。演算部は、予め準備された試料の構造を示すモデル情報と質量分析によって得られた試料の構造を示す解析情報との構造上の比率を算出し、比率を解析情報に適用して解析情報を補正する。【選択図】図１