APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING ENERGY SPECTRUM OF REFLECTED ELECTRON

To provide an apparatus capable of realizing high energy resolution in a wide energy region.SOLUTION: An apparatus includes: an electron beam source 101 that generates a primary electron beam; electron optical systems 102, 105, and 112 that guide the primary electron beam to a sample and focus and deflect the primary electron beam; and an energy analysis system capable of detecting the energy spectrum of reflected electrons generated from the sample. The energy analysis system includes: a Wien filter 108 that disperses reflected electrons; a detector 107 that measures the energy spectrum of the reflected electrons dispersed by the Wien filter 108; and an operation control unit 150 that moves the detection position of the reflected electrons of the detector 107 in synchronization with a change in the intensity of the quadrupole field while changing the intensity of the quadrupole field of the Wien filter 108.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】広いエネルギー領域において高エネルギー分解能を実現できる装置を提供する。【解決手段】装置は、１次電子線を発生させるための電子線源１０１と、１次電子線を試料まで導いて集束かつ偏向させる電子光学系１０２，１０５，１１２と、試料から発生した反射電子のエネルギースペクトルを検出可能なエネルギー分析系を備える。エネルギー分析系は、反射電子を分散させるウィーンフィルタ１０８と、ウィーンフィルタ１０８によって分散された反射電子のエネルギースペクトルを測定するための検出器１０７と、ウィーンフィルタ１０８の４極場の強度を変化させながら、４極場の強度の変化と同期して検出器１０７の反射電子の検出位置を移動させる動作制御部１５０とを備える。【選択図】図１