ULTRASONIC SENSOR

To provide an ultrasonic sensor that can adjust the influence of an adhesion layer for bonding a sensor element and a mounting substrate affecting a reflection wave.SOLUTION: A sensor 1 has a sensor element 3, a mounting substrate 5, and an adhesion layer 7. The sensor element 3 has a vibration surface 9a in which the resonance frequency of out-of-plane vibration is within the frequency band of an ultrasonic wave. The mounting substrate 5 is located on the opposite side of the vibration surface 9a with respect to the sensor element 3. The adhesion layer 7 is located between and closely adhered to the sensor element 3 and mounting substrate 5. The adhesion layer 7 has a base material 23, and a plurality of first particles 25 distributed in the base material 23. Some of the plurality of first particles 25 have a diameter in the thickness direction of the adhesion layer 7 equal to the thickness of the adhesion layer 7.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】センサ素子と実装基体とを接着する接着層が反射波に及ぼす影響を調整できる超音波センサを提供する。【解決手段】センサ１は、センサ素子３と、実装基体５と、接着層７とを有している。センサ素子３は、面外振動の共振周波数が超音波の周波数帯域内にある振動面９ａを有している。実装基体５は、センサ素子３に対して振動面９ａとは反対側に位置している。接着層７は、センサ素子３と実装基体５との間でこれらに密着している。また、接着層７は、母材２３と、母材２３内に分布している複数の第１粒子２５と、を有している。複数の第１粒子２５の少なくとも一部は、接着層７の厚さ方向の径が接着層７の厚さと同等である。【選択図】図１