LIQUID FILLING METHOD, MANUFACTURING METHOD FOR SICM PROBE, SICM PROBE AND SICM

To provide a liquid filling method that enables liquid to be filled into a space of nanometer size, and to provide a manufacturing method for an SICM probe, an SICM probe, and an SICM.SOLUTION: A liquid filling method, for filling a liquid 10 into one end 21 of two ends of an internal space of an object (pipette 20), comprises at least steps of: injecting the liquid into part of the internal space from the other end side 22 of the two ends, and causing a temperature gradient 40 at which a temperature decreases toward the one end side 21 from the other end side 22; shifting phase from the liquid 10 into gas 11; and filling the liquid 10 into the one end 21 by phase shifting, by virtue of the temperature decrease, the gas moved to the one end 21 by diffusion into liquid. Thus, the liquid can be filled (transported) to the leading end 21 side simply by causing the temperature gradient 40, at which the temperature decreases toward the one end 21 side (leading-end side), while holding the liquid 10 in part of the internal space.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ナノメートルサイズの空間内に液体を充填することを可能とする液体充填方法、SICM用プローブの製造方法、SICM用プローブ及びSICMを提供する。【解決手段】物体（ピペット20）の内部空間の両端のうち一方の端部21に液体10を充填するための液体充填方法において、両端のうち他方の端部側22から内部空間の一部に液体を挿入し、他方の端部側22から一方の端部側21に向かって温度が下がっていく温度勾配40を生じさせるステップと、液体10を気体11に相転移させるステップと、拡散により一方の端部21まで移動した気体を温度低下により液体に相転移させることで一方の端部21に液体10を充填するステップとを少なくとも備える。内部空間の一部に液体10を入れた状態で、一方の端部21側（先端側）に向かって温度が下がっていく温度勾配40を生じさせるだけで先端21側に液体を充填（輸送）することができる。【選択図】図１