METHOD OF MODIFYING DEFORMATION OF SUBSTRATE, AND DEVICE

To provide a method of modifying deformation of a substrate, and a device.SOLUTION: A substrate support body 500 includes: a base part 502 having an inner part region formed by a wall 506 extended to an upper direction from the base part; a plurality of infrared lamps 507 arranged in the inner part region; a support plate 508 arranged onto the plurality of infrared lamps, and containing a support surface 512 supporting the substrate; a center opening part 514 arranged onto the support plate and corresponded to the support surface; and an exhaust part 516 in the circumference of a top surface of a cover plate. The exhaust part includes a cover plates 510 having a plurality of punchings 522 fluid-connecting a space on the cover plate with an exhaust pipe formed to the cover plate.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】基板の変形を修正するための方法及び装置を提供する。【解決手段】基板支持体５００は、基部５０２から上向きに延びている壁５０６によって形成された内部領域を有する基部と、内部領域内に配置された複数の赤外線ランプ５０７と、複数の赤外線ランプの上に配置されて、基板を支持する支持面５１２を含む支持プレート５０８と、支持プレートの上に配置されて、支持面に対応する中心開口部５１４と、カバープレートの頂面の周囲に排気部５１６とを有し、排気部はカバープレートの上の空間とカバープレートに形成された排気導管とを流体連結させる複数の穿孔５２２を有するカバープレート５１０と、を含む。【選択図】図５